Welches Gerät wird in der Leitung vorgesehen, um dem Gas unmittelbar vor der Zufuhr zur Anlage Spuren von Verunreinigungen und Partikel zu entziehen?

Antwort: B. Gasreiniger (Purifier) und Gasfilter

Gase können in Flaschen und Leitungen Spuren von Verunreinigungen wie Wasser und Sauerstoff sowie Partikel aufnehmen. Daher werden unmittelbar vor der Anlage ein Gasreiniger, der Verunreinigungen z. B. mit Metall-Gettermaterial adsorbiert, und ein Filter, das feine Partikel einfängt, angeordnet, um die Reinheit im ppt-Bereich zu halten. Vakuumpumpen pumpen Gas ab, und Heizungen erhöhen die Temperatur; keines von beiden entfernt Verunreinigungen.