공정 재료(가스와 케미칼)

p형 불순물(붕소) 도입에 쓰이는 원료 가스로 올바른 것은 무엇입니까?

  1. A디보레인(B2H6)이나 삼불화붕소(BF3)
  2. B포스핀(PH3)
  3. C아르신(AsH3)
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정답: A. 디보레인(B2H6)이나 삼불화붕소(BF3)

붕소 도입에는 디보레인(B2H6)이나 삼불화붕소(BF3)가 쓰입니다. BF3는 이온 주입의 이온원 가스로 쓰이며, B⁺ 외에 무거워서 얕게 주입할 수 있는 BF2⁺도 추출할 수 있습니다. 디보레인은 CVD나 에피택셜 성장에서 막에 붕소를 동시에 넣을 때 자주 쓰입니다. 포스핀과 아르신은 n형 불순물인 인과 비소의 원료입니다.

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