Was ist Ionenimplantation?
Eine Technik, bei der Dotierstoffe ionisiert, beschleunigt und in den Wafer geschossen werden. Dosis und Tiefe lassen sich präzise steuern.
Japanische Bezeichnung: イオン注入
Fachgebiet: Ionenimplantation
Vergleiche mit diesem Begriff
Verwandte Begriffe
Abschattung (Shadowing) Ausheilen (Annealing) Channeling (Kanaleffekt) Faraday-Becher (Faraday Cup) Festkörperlöslichkeit Halo-Implantation (Pocket-Implantation) Implantationsdosis Laser-Anneal Plasmadotierung (Plasma Doping) Projizierte Reichweite