Was ist Phosphin (PH3)?

Gasförmige Verbindung aus Phosphor und Wasserstoff, die zum Einbringen von n-Dotierstoff (Phosphor) in Silizium dient. Sie ist extrem giftig.

Japanische Bezeichnung: ホスフィン(PH3)

Fachgebiet: Prozessmaterialien (Gase und Chemikalien)

Verwandte Begriffe

Arsin (AsH3) Massendurchflussregler (MFC) Monosilan (SiH4) NF3 (Stickstofftrifluorid) Präkursor (precursor) Reinstwasser Spezialgase (specialty gases) TMAH

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