製造プロセスを一通り
ウエハからクリーンルーム、酸化、リソグラフィ、エッチング、成膜、配線、計測、歩留まりまで、前工程を流れの順に学びます。
- シリコンウエハ
- クリーンルーム・製造装置
- プロセス材料(ガス・薬液)
- 酸化・拡散
- イオン注入
- エピタキシャル成長
- リソグラフィ
- エッチング
- 成膜(CVD・PVD)
- CMP・洗浄
- 配線プロセス
- 計測・分析
- 歩留まり・品質管理
分野ごとに、問題の6割以上を解いて正答率が80%以上になると「完了」になります。
ウエハからクリーンルーム、酸化、リソグラフィ、エッチング、成膜、配線、計測、歩留まりまで、前工程を流れの順に学びます。
分野ごとに、問題の6割以上を解いて正答率が80%以上になると「完了」になります。