スティクション란?

すてぃくしょん

MEMSの微小な可動部が、表面張力や表面の吸着力によって基板に張り付き、動かなくなる現象。犠牲層を除去した後の乾燥などで起こりやすい。

일본어 명칭: スティクション

분야: MEMS와 센서