特殊材料ガス란?

とくしゅざいりょうがす

シラン、アルシン、ホスフィンなど、半導体の製造に使う毒性や可燃性をもつ高純度のガス。厳重な管理のもとで供給される。

일본어 명칭: 特殊材料ガス

분야: 공정 재료(가스와 케미칼)