為了使離子佈植在晶圓面內的劑量均勻，下列何種方法正確？

正確答案：B. 掃描離子束或晶圓，使其均勻照射整片晶圓

由於離子束比晶圓小，因此會以電場或磁場使離子束橫向擺動、機械式移動晶圓，或將離子束擴展成帶狀而使晶圓朝單一方向移動等方式，一邊掃描整個表面一邊佈植。藉由依位置修正掃描速度，並以法拉第杯量測離子束分布進行回饋，可將晶圓面內的劑量變異抑制在約0.5%以下。