使離子佈植機中離子束行經的路徑保持高真空，其主要原因為下列何者？

正確答案：C. 為了防止離子與氣體分子碰撞而散射或被中性化

若離子束路徑中殘留氣體，離子會與氣體分子碰撞而改變方向，或失去電荷而成為中性。中性化的粒子無法被法拉第杯計數，也無法被掃描或減速的電場控制，因此無法以預定的位置、能量、劑量進行佈植。因此束線需保持在10⁻⁴ Pa左右以下的高真空，排除光阻釋出的氣體也很重要。

• A. 與機台的重量無關。
• B. 抽真空並不是為了冷卻晶圓。
• C. 正確。是為了防止離子的散射與中性化。