在離子佈植機中，為求得所佈植的離子量（劑量）而量測束電流的零件為下列何者？

正確答案：A. 法拉第杯

法拉第杯是承接離子束並將其電荷以電流量測的杯狀電極。由於每個離子的電荷已知，將電流對時間積分便可求得佈植的離子數（劑量），達到目標後即停止佈植。若離子束撞擊產生的二次電子逃逸，會使電流量測錯誤，因此其結構以磁場或電極將電子侷限住。