계측과 분석

실리콘 중 침입형 산소 농도의 측정에 사용되는 방법은?

  1. A4탐침법
  2. BEDX
  3. C적외 흡수(FTIR)법
정답과 해설 보기

정답: C. 적외 흡수(FTIR)법

실리콘 중의 침입형 산소는 Si-O-Si 결합의 진동에 의해 파수 약 1107 cm⁻¹의 적외선을 흡수합니다. FTIR로 그 흡수의 세기를 측정하면 산소 농도를 비파괴로 구할 수 있습니다. CZ 웨이퍼의 산소는 게터링에 도움이 되는 한편 너무 많으면 석출에 의한 결함의 원인이 되기도 하므로 농도를 관리합니다. 치환형 탄소(약 605 cm⁻¹)의 측정에도 사용됩니다. 4탐침법과 EDX로는 산소 농도를 측정할 수 없습니다.

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