在製造線的製程途中進行量測或檢測，其主要目的是下列何者？

正確答案：B. 為了及早發現製程異常並使其停止，防止持續大量製造不良品

先進的LSI要經過超過1000道製程，直到完成需要數個月。若完成後才發現問題，這段期間流過的大量晶圓就會成為不良品。在製程途中進行量測與檢測，及早發現異常，停止原因的設備或製程並修正條件，就能將損失壓低。量測結果也有助於用在下一片晶圓條件補正的控制。

• A. 目的並不是讓製程延遲。
• B. 正確。是為了及早發現異常以壓低損失。
• C. 目的並不是增加重量。