在製造線的量測中，並非量測所有晶圓或所有點位，而多半是選取一部分來量測，其主要理由是下列何者？

正確答案：C. 因為量測也需要時間與成本，所以在能掌握製程變異的範圍內抽樣量測

量測需要設備的時間與成本，若量測所有晶圓的所有點位，生產的流程會變慢，量測設備也需要大量配置。因此會依製程變異的性質，根據決定從批次中量測幾片、晶圓內量測幾點的抽樣計畫來進行量測。穩定的製程會減少量測量，重要的製程或有異常徵兆時則會增加。

• A. 多數量測是非破壞的，產品不會損壞。
• B. 量測設備可以連續使用。
• C. 正確。考量時間與成本而抽樣量測。