在製造線中，於製程途中量測產品晶圓以監控製程的量測，稱為什麼？

正確答案：A. 線上量測

線上量測是以組裝在製造線中的量測設備，在製程途中量測產品晶圓的膜厚、尺寸、疊對、缺陷等。可及早發現異常，防止不良品流向後段製程，結果也可用於設備條件的補正。使用的是不破壞產品的非破壞方法。這與帶到線外詳細調查的離線量測，以及破壞試片的破壞性分析有所區別。