由成膜前後晶圓翹曲的變化來求膜應力時，使用的關係式是下列何者？

正確答案：B. 斯托尼方程式

斯托尼（Stoney）方程式如 σ=Es·hs²/(6(1−νs)hf)×(1/R−1/R0) 所示，是由基板的楊氏模數Es、帕松比νs、厚度hs，以及膜厚hf和成膜前後晶圓的曲率變化來求膜應力的式子。其便利之處在於不需知道膜的彈性常數，以雷射反射量測晶圓的翹曲即可評估應力。布拉克方程式（Black's equation）是電遷移的式子，普雷斯頓方程式（Preston's equation）是CMP研磨速率的式子。