계측과 분석

SIMS가 불순물 원자의 농도를 측정하는 데 비해, 전기적으로 활성인 캐리어 농도의 깊이 방향 분포를 측정하는 방법으로 올바른 것은?

  1. AEDX
  2. B원자간력현미경(AFM)
  3. C퍼짐 저항 측정(SRP) 등의 전기적 측정
정답과 해설 보기

정답: C. 퍼짐 저항 측정(SRP) 등의 전기적 측정

퍼짐 저항 측정은 시료를 얕은 각도로 비스듬히 연마하여 깊이 방향을 늘린 다음, 2개의 탐침을 조금씩 옮기며 접촉시켜 저항을 측정함으로써 캐리어 농도의 깊이 방향 분포를 구하는 방법입니다. SIMS는 활성화되지 않은 불순물까지 포함한 원자 농도를 측정하므로, 둘을 비교하면 활성화 비율을 알 수 있습니다. EDX는 원소를, AFM은 형상을 조사하는 방법입니다.

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