利用照射電子束時因充電差異而產生的亮度差，來偵測接觸窗導通不良等的檢測是下列何者？

正確答案：B. 電位對比（電壓對比）檢測

照射電子束時，與基板等在電性上相連的接觸窗，電荷會逸散而不帶電；斷線而浮接的接觸窗則會帶電。由於帶電的差異會使射出的二次電子量改變，便以亮度差的形式呈現。利用這種電位對比，可偵測從表面看不見的接觸窗開口不良與配線斷線，並以電子束檢測設備用於量產線。