為了量測疊對（overlay）的偏移，設置在晶圓上的是下列何者？

正確答案：C. 疊對量測用的專用標記

為了量測疊對精度，會在切割道等處製作結合前一層與當層圖案的專用標記。以光學式設備量測兩個圖案中心的偏移，或由上下光柵繞射光的差異求出偏移。結果以晶圓內各位置的偏移量送回曝光機，用於下一批（lot）的補正。銲墊與缺口則是用於其他目的。