微影
關於解析度公式 R = k1 × λ / NA 中係數k1的說明，下列何者正確？
- A是表示製程難度的係數，一次曝光的理論下限為0.25
- B愈大，解析度愈高
- C數值永遠在1以上
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正確答案：A. 是表示製程難度的係數，一次曝光的理論下限為0.25
k1是綜合表示光阻性能、光罩的巧思與照明條件等整體實力的係數，愈小愈能解析細微圖案，但製程窗口也會變窄而更困難。以一次曝光解析週期性圖案（線與間隔）的理論下限為0.25。1990年代約在0.6上下，之後藉由離軸照明、相位移光罩、OPC等解析度增強技術，即使在量產中也已降到0.27～0.3左右。