해상도 식 R = k1 × λ / NA의 계수 k1에 대한 설명으로 올바른 것은?

정답: A. 공정의 어려움을 나타내는 계수이며, 1회 노광에서의 이론적인 하한은 0.25이다

k1은 레지스트의 성능, 마스크의 연구, 조명 조건 등의 종합 역량을 나타내는 계수로, 작을수록 미세한 패턴을 해상할 수 있는 반면 공정 윈도가 좁아져 어려워집니다. 1회 노광으로 주기 패턴(선과 간격)을 해상하는 이론적인 하한은 0.25입니다. 1990년대에는 0.6 전후였으나, 변형 조명, 위상 시프트 마스크, OPC 등의 초해상 기술로 양산에서도 0.27~0.3 정도까지 낮출 수 있게 되었습니다.