微影 即使改變曝光量與對焦，圖案尺寸仍能維持在容許範圍內的條件範圍，稱為什麼？ A製程窗口 B疊對 C線邊緣粗糙度 查看答案與解析 正確答案：A. 製程窗口 製程窗口是指即使改變曝光量與對焦，圖案尺寸仍能落在容許範圍（例如目標值的±10%）內的範圍，以縱軸為曝光量、橫軸為對焦的圖（ED-window）來表示。在量產中，機台的變異、晶圓的凹凸與光阻厚度的變化會使曝光量與對焦產生波動，因此窗口愈寬，愈能穩定製造。OPC與照明條件的最佳化，主要就是為了擴大它而進行的。