微影
水銀燈的i線，其波長為下列何者？
- A365 nm
- B436 nm
- C193 nm
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正確答案：A. 365 nm
水銀燈的光中，g線為436 nm、i線為365 nm，另外還有h線（405 nm）。1980年代以g線、1990年代前半以i線為主流，一路擔任到0.35 µm世代的最先進技術。i線曝光機價格便宜、光源壽命也長，因此至今仍廣泛用於不太需要微細度的層、功率元件、MEMS、部分影像感測器，以及封裝的重分佈層等。193 nm是ArF的波長。
微影
正確答案：A. 365 nm
水銀燈的光中，g線為436 nm、i線為365 nm，另外還有h線（405 nm）。1980年代以g線、1990年代前半以i線為主流，一路擔任到0.35 µm世代的最先進技術。i線曝光機價格便宜、光源壽命也長，因此至今仍廣泛用於不太需要微細度的層、功率元件、MEMS、部分影像感測器，以及封裝的重分佈層等。193 nm是ArF的波長。