포토리소그래피

미세한 패턴을 가진 틀(몰드)을 레지스트에 눌러 패턴을 전사하는 기술을 무엇이라고 하는가?

  1. A전자선 묘화
  2. BEUV 노광
  3. C나노임프린트 리소그래피
정답과 해설 보기

정답: C. 나노임프린트 리소그래피

나노임프린트 리소그래피는 요철 패턴을 가진 틀(템플릿)을 웨이퍼 위의 액상 레지스트에 눌러 붙이고, 자외선으로 굳힌 뒤 틀을 떼어 모양을 본뜨는 기술입니다. 빛의 회절 한계가 없어 10 nm대의 패턴도 전사할 수 있고, 고가의 광학계가 필요 없어 장비의 비용과 전력을 줄일 수 있습니다. 캐논이 양산 장비를 개발했고 3D NAND 등에서 실용화가 추진되고 있지만, 결함 억제와 중첩이 과제입니다.

이 분야 연습하기 분야로 돌아가기

포토리소그래피의 다른 문제

  1. 포토마스크(레티클)의 패턴을 그리는 데 주로 사용되는 장비는?
  2. 포토마스크 위에 일정한 간격을 두고 씌우는 얇은 막(펠리클)의 역할은?
  3. 레지스트 아래에 도포하는 반사 방지막(BARC)의 주된 목적은?
  4. 차세대 EUV 노광 장비로 개발된 「High-NA EUV」의 특징으로 올바른 것은?
  5. 미세한 레지스트 패턴의 측면에 생기는 나노미터 단위의 요철을 나타내는 지표는?

이 분야의 비교