在微縮進展的電晶體中，作為限制性能之因素而日趨重要的是什麼？

正確答案：A. 源極、汲極與接觸的寄生電阻，以及閘極周圍的寄生電容

電晶體變小後，相較於通道的電阻，源極、汲極與接觸的電阻所占的比例變大，在先進世代中甚至占導通電阻的近一半。此外，閘極與接觸的間隔縮窄到十幾 nm，寄生電容也隨之增加。因此，接觸材料的改良、氣隙與低介電常數間隔物、從背面供電等本徵部分以外的改良，成為提升性能的重心。