첨단 트랜지스터(FinFET과 GAA)

미세화가 진행된 트랜지스터에서 성능을 제한하는 요인으로 중요성이 커지고 있는 것은?

  1. A소스·드레인이나 컨택트의 기생 저항, 게이트 주변의 기생 용량
  2. B웨이퍼의 직경
  3. C패키지의 색
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정답: A. 소스·드레인이나 컨택트의 기생 저항, 게이트 주변의 기생 용량

트랜지스터가 작아지면 채널 저항에 비해 소스·드레인이나 컨택트 저항의 비중이 커져 첨단 세대에서는 온 저항의 절반 가까이를 차지하기도 합니다. 또한 게이트와 컨택트의 간격이 십수 nm까지 좁아져 기생 용량도 늘어납니다. 그래서 컨택트 재료 개선, 에어갭이나 저유전율 스페이서, 후면으로부터의 전원 공급 등 진성 부분 이외의 개선이 성능 향상의 중심이 되고 있습니다.

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