先進電晶體(FinFET與GAA)
在 FinFET 的源極、汲極中,於鰭片上以磊晶成長使晶體隆起的主要目的為何?
- A為了使電晶體發光
- B為了增長閘極長度
- C為了降低寄生電阻,並對通道施加應變
查看答案與解析
正確答案:C. 為了降低寄生電阻,並對通道施加應變
鰭片只有數 nm 寬,若維持原狀,源極、汲極的電阻會很大,接觸的面積也很小。以磊晶成長使晶體隆起成菱形後,截面積增加,可降低電阻並容易取得接觸。pMOS 使用含大量 Ge 的 SiGe,nMOS 使用含高濃度磷的 SiP 等,也具有利用晶格常數差異對通道施加應變、提高遷移率的作用。