先進電晶體(FinFET與GAA)

下列關於作為未來極微小電晶體通道材料而研究的二硫化鉬(MoS2)等材料之特徵,何者正確?

  1. A是厚度數 mm 的金屬
  2. B是即使只有數層原子的厚度仍能作為半導體運作的二維材料
  3. C是不導電的絕緣體
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正確答案:B. 是即使只有數層原子的厚度仍能作為半導體運作的二維材料

MoS2 等過渡金屬二硫族化物是二維材料,即使只有相當於 3 個原子(約 0.65 nm)的單層,仍保有半導體的性質。由於表面沒有多餘的懸鍵,即使變薄遷移率也不易下降。矽若薄到數 nm 以下,會因表面粗糙造成的散射而使遷移率大幅降低,因此二維材料正被研究作為 GAA 之後的極薄通道候補,但大面積均勻成膜與低電阻接觸仍是課題。

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