先端トランジスタ(FinFET・GAA)

微細化が進んだトランジスタで、性能を制限する要因として重要性が増しているものはどれか。

  1. Aソース・ドレインやコンタクトの寄生抵抗、ゲート周りの寄生容量
  2. Bウエハの直径
  3. Cパッケージの色
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正解:A. ソース・ドレインやコンタクトの寄生抵抗、ゲート周りの寄生容量

トランジスタが小さくなると、チャネルそのものの抵抗に比べて、ソース・ドレインやコンタクトの抵抗の割合が大きくなります。また、ゲートとコンタクトの間隔が狭くなり寄生容量も増えます。これらが性能を制限するため、材料や構造の改良が続けられています。

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