先進電晶體(FinFET與GAA)

作為表示邏輯微縮程度的指標,被認為比製程的世代名稱(節點名稱)更能反映實況的是哪一個?

  1. A晶圓的直徑
  2. B閘極節距(CPP)或最小配線節距等實際尺寸
  3. C晶片的售價
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正確答案:B. 閘極節距(CPP)或最小配線節距等實際尺寸

到 1990 年代為止,世代名稱與閘極長度等實際尺寸大致相符,但自 FinFET 以後,像「3 nm」這樣的名稱只是表示性能或密度的世代,實際的閘極長度在十幾 nm 以上。因此,實際的積體度是以閘極的配置間隔(CPP,3 nm 世代略小於 50 nm)、最小配線節距(約 20 nm 多)、SRAM 單元面積、電晶體密度(個/mm²)等來比較。

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