プリアモルファス化注入(PAI)とは

ぷりあもるふぁすかちゅうにゅう

ゲルマニウムなどを先に注入して表面をアモルファス化し、その後の注入でのチャネリングを抑えて浅い接合を得る方法。

この用語の分野: イオン注入

「プリアモルファス化注入(PAI)」が出てくる問題(1問)

  1. プリアモルファス化注入(PAI)の目的として正しいものはどれか。

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