イオン注入 ウエハを傾けてイオン注入を行う際に、レジストなどの高いパターンの陰になって注入されない部分ができる現象を何と呼ぶか。 Aチャネリング Bゲッタリング Cシャドウイング 答えと解説を見る 正解：C. シャドウイング チャネリング対策やハロー注入などでウエハを傾けて注入すると、背の高いレジストやゲートの陰になる部分にはイオンが届かなくなります。これをシャドウイングといい、注入される領域が左右非対称になる原因になるため、ウエハを回転させて複数方向から注入するなどの工夫をします。