Qu'est-ce que Indice de réfraction ?

Vitesse de la lumière dans le vide divisée par sa vitesse dans un matériau. À la longueur d'onde de 1,55 µm, il vaut environ 3,48 pour le silicium et 1,45 pour l'oxyde (SiO2) ; plus ce contraste est grand, plus la lumière peut être fortement confinée dans un petit guide d'onde.

Nom japonais: 屈折率

« Indice de réfraction » apparaît dans 8 questions d'entraînement réparties sur 5 thèmes, dont Photonique sur silicium, Croissance épitaxiale, Lithographie.

Coupe de guides d'onde Si (ruban et arête) SiO₂ (n ≈ 1,45) Si (n ≈ 3,5) Champ optique Gaine SiO₂ Oxyde enterré (BOX) Substrat Si Largeur ≈ 500 nm Ép. 220 nm Gaine SiO₂ Oxyde enterré (BOX) Substrat Si Largeur ≈ 500 nm Slab Guide ruban Guide en arête Fort confinement, virages serrés Contact électrique via le slab
Coupe de guides d'onde Si (ruban et arête) · Voir dans les schémas

Domaine: Photonique sur silicium

S'entraîner : questions sur Indice de réfraction

Quelle est la caractéristique correcte d'une structure où un guide d'onde en silicium (indice de réfraction d'environ 3,5) est entouré d'oxyde (SiO2, indice d'environ 1,45) ?

  1. ALa différence d'indice étant grande, la lumière fuit facilement vers l'extérieur : le guide ne peut être courbé qu'avec un rayon plus grand que celui d'une fibre optique, ce qui ne convient pas à l'intégration
  2. BLa différence d'indice étant grande, la lumière est fortement confinée : le guide peut être courbé avec un petit rayon de quelques µm et les composants peuvent être disposés avec une forte densité
  3. CPlus la différence d'indice est grande, moins les rugosités des flancs ont d'effet, et les pertes de propagation deviennent aussi faibles que celles d'une fibre optique
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Réponse : B. La différence d'indice étant grande, la lumière est fortement confinée : le guide peut être courbé avec un petit rayon de quelques µm et les composants peuvent être disposés avec une forte densité

La lumière est confinée par réflexion totale à l'interface entre un cœur d'indice élevé et une gaine d'indice faible, et ce confinement est d'autant plus fort que la différence d'indice est grande. La différence entre le silicium et l'oxyde, d'environ 2, est d'un tout autre ordre de grandeur que celle entre le cœur et la gaine d'une fibre optique (moins de 1 %) : on peut réaliser des guides fins d'une section d'environ 0,5 µm × 0,22 µm et réduire le rayon de courbure à quelques µm. En revanche, plus la différence d'indice est grande, plus la lumière est diffusée par les rugosités des flancs : les pertes de propagation, qui dépendent des conditions, sont d'environ 1 à 3 dB/cm pour un guide en ruban typique (moins pour un guide en arête ou avec un procédé à faibles pertes), soit bien plus que pour une fibre (environ 0,2 dB/km).

Dans les modulateurs optiques en silicium, pourquoi utilise-t-on l'effet de dispersion par porteurs (effet de dispersion plasma) pour faire varier l'indice de réfraction au moyen d'un signal électrique ?

  1. AParce que le silicium, à gap direct, émet fortement de la lumière quand on y injecte des porteurs, et que cette lumière modifie l'indice
  2. BParce que faire varier la concentration d'électrons et de trous ne change pas l'indice mais seulement l'absorption, ce qui est plus simple à exploiter
  3. CParce que le cristal de silicium est centrosymétrique et que l'effet Pockels, par lequel le champ électrique modifie directement l'indice, y est quasi absent
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Réponse : C. Parce que le cristal de silicium est centrosymétrique et que l'effet Pockels, par lequel le champ électrique modifie directement l'indice, y est quasi absent

Dans des cristaux comme le niobate de lithium, on peut réaliser des modulateurs rapides grâce à l'effet Pockels, par lequel l'indice varie proportionnellement au champ électrique ; mais la structure cristalline du silicium étant centrosymétrique, cet effet y est quasi absent. On exploite donc l'effet de dispersion par porteurs : la variation de la concentration d'électrons et de trous (porteurs libres) modifie l'indice et l'absorption. Augmenter la concentration de porteurs diminue l'indice et accroît en même temps l'absorption. La variation d'indice étant faible (de l'ordre de 10⁻³ ou moins), on porte la longueur du modulateur à quelques mm environ pour accumuler la variation de phase. Le silicium est à gap indirect.

« Indice de réfraction » dans les explications

Questions mentionnant « Indice de réfraction » (8)

  1. Quelle est la caractéristique correcte d'une structure où un guide d'onde en silicium (indice de réfraction d'environ 3,5) est entouré d'oxyde (SiO2, indice d'environ 1,45) ?
  2. Dans les modulateurs optiques en silicium, pourquoi utilise-t-on l'effet de dispersion par porteurs (effet de dispersion plasma) pour faire varier l'indice de réfraction au moyen d'un signal électrique ?
  3. Dans un coupleur par la tranche, pourquoi utilise-t-on une structure en taper inversé, où la largeur du guide d'onde en silicium diminue vers le bord de la puce ?
  4. Comment un modulateur Mach-Zehnder convertit-il une variation de phase de la lumière en variation d'intensité ?
  5. Quelle méthode mesure l'épaisseur d'une couche épitaxiale faiblement dopée sur un substrat fortement dopé en exploitant l'interférence de la lumière infrarouge ?
  6. Quelle description de la lithographie ArF à immersion est correcte ?
  7. Quel gaz est parfois utilisé comme oxydant avec le silane pour former par CVD des films d'oxyde ou d'oxynitrure de silicium ?
  8. Que mesure principalement l’ellipsométrie (ellipsométrie spectroscopique) ?

Termes associés

Guide d'onde Contact Pertes de propagation Effet de dispersion plasma Absorption (perte de chiffres) Coupleur par la tranche (edge coupler) Fibre monomode Lithographie à immersion Eau ultrapure Ouverture numérique (NA)

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