パターン倒壊とは
ぱたーんとうかい
高アスペクト比の微細なパターンを洗浄・乾燥するとき、パターンの間に残った液体の表面張力で、パターンが倒れたり貼り付いたりする不良。
この用語の分野: CMP・洗浄
解説の中の「パターン倒壊」
フッ化水素の蒸気、NF3とNH3のプラズマで生成したラジカル(SiCoNi処理)などを使う気相(ドライ)洗浄では液体を使わないため、パターン倒壊の心配がなく、成膜装置と真空でつないで処理直後に酸化させずに次の工程へ進めることもできます。
微細な構造の倒壊を防ぐため、液体を使わずに表面の自然酸化膜などを除去する方法はどれか。
「パターン倒壊」が出てくる問題(1問)
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自然酸化膜 NF3(三フッ化窒素) プラズマ ラジカル コンタクト RCA洗浄 SC-2(HPM) SC-1(APM) SPM(硫酸過水) エロージョン