パターン倒壊란?

ぱたーんとうかい

高アスペクト比の微細なパターンを洗浄・乾燥するとき、パターンの間に残った液体の表面張力で、パターンが倒れたり貼り付いたりする不良。

일본어 명칭: パターン倒壊

분야: CMP와 세정