微細な構造の倒壊を防ぐため、液体を使わずに表面の自然酸化膜などを除去する方法はどれか。

正解：B. 気相のガスやラジカルを使ったドライ洗浄

高く細いパターンでは、洗浄液が乾くときの表面張力でパターンが倒れてしまうことがあります。フッ化水素の蒸気やプラズマで生成したラジカルなどを使う気相(ドライ)洗浄では液体を使わないため、パターン倒壊の心配がなく、微細な構造の表面処理に使われます。