モニターウエハとは
もにたーうえは
装置の状態確認や膜厚・パーティクルの測定などのために、製品とは別に工程に流すウエハ。テストウエハとも呼ぶ。使用後は膜を除いて研磨し直し、再生ウエハとして再利用されることが多い。
この用語の分野: シリコンウエハ
解説の中の「モニターウエハ」
モニターウエハやダミーウエハは工場で大量に使われるため、使用後に表面の膜や汚染をエッチングや研磨で取り除き、再び鏡面に仕上げて再利用します。
使用済みのモニターウエハの表面の膜などを除去し、研磨し直して再び使えるようにしたものを何と呼ぶか。モニターウエハは、成膜の膜厚、パーティクルの数、エッチング速度、汚染などを確認するために製品とは別に流すウエハで、装置の立ち上げや定期点検で状態をチェックします。
装置の状態確認や膜厚の測定などのために、製品とは別に工程に流すウエハを何と呼ぶか。
「モニターウエハ」が出てくる問題(2問)
関連する用語
インゴット ウエハのノッチ SOIウエハ FZ法(フローティングゾーン法) MCZ法(磁場印加CZ法) 結晶方位 ゲッタリング サーマルドナー 酸素析出物(BMD) シーメンス法