使用済みのモニターウエハの表面の膜などを除去し、研磨し直して再び使えるようにしたものを何と呼ぶか。

正解：B. 再生ウエハ

モニターウエハやダミーウエハは大量に使われるため、使用後に表面の膜や汚染をエッチングや研磨で取り除いて再利用します。これを再生ウエハといい、コストと資源の節約になります。