装置の状態確認や膜厚の測定などのために、製品とは別に工程に流すウエハを何と呼ぶか。

正解：C. モニターウエハ(テストウエハ)

モニターウエハは、成膜の膜厚、パーティクルの数、エッチング速度などを確認するために、製品とは別に流すウエハです。装置が正常かどうかを定期的にチェックするのに使われます。使用後は表面を研磨して再生し、繰り返し使うこともあります。