會導致晶片不良的缺陷。例如大小與位置足以造成導線短路或斷線的微粒及圖案異常等。
日文名稱: キラー欠陥
這個名詞所屬的領域: 良率與品質管理
系統性缺陷 良率 帕松良率模型 柏拉圖 特性要因圖 管制圖 製程能力指數(Cpk) APC(先進製程控制) FMEA(失效模式與效應分析) SPC(統計製程管制)
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