歩留まり・品質管理

ウエハ上の欠陥のうち、実際にチップの電気的な不良を引き起こすものを何と呼ぶか。

  1. Aキラー欠陥
  2. B擬似欠陥
  3. Cニュイサンス欠陥
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正解:A. キラー欠陥

検査で見つかる欠陥のすべてが不良につながるわけではありません。配線間をつなぐ位置にある大きな異物のように、電気的な不良を引き起こす欠陥をキラー欠陥といいます。欠陥の大きさや位置から不良になる確率を見積もり、歩留まりへの影響を予測します。

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