クリーンルーム・製造装置
クリーンルームの清浄度は、一般に何によって表されるか。
- A空気中の一定体積あたりに含まれる、一定の大きさ以上の粒子の数
- B室内の温度と湿度
- C照明の明るさ
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正解:A. 空気中の一定体積あたりに含まれる、一定の大きさ以上の粒子の数
クリーンルームの清浄度は、一定体積の空気に含まれる、ある大きさ以上の粒子の数で表します。国際規格ISO 14644-1では、1 m³あたりの粒子数にもとづいてクラス1〜9に分類され、数字が小さいほど清浄です。温度・湿度も管理しますが、清浄度の指標ではありません。