クリーンルーム・製造装置

旧米国連邦規格のクラス100(1立方フィートあたり0.5 µm以上の粒子が100個以下)に相当するISO 14644-1の清浄度クラスはどれか。

  1. AISOクラス5
  2. BISOクラス1
  3. CISOクラス9
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正解：A. ISOクラス5

旧米国連邦規格のクラス100は、ISO 14644-1のクラス5にほぼ相当します。ISOクラスは1 m³あたりの粒子数で定義され、数字が1つ小さくなるごとに許される粒子数は1/10になります。かつての呼び方として、現在も「クラス100」などの表現が使われることがあります。

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