プロセス材料(ガス・薬液)

半導体用の高純度ガスや薬液の不純物濃度を表すのによく使われる単位はどれか。

  1. Appb(10億分の1)やppt(1兆分の1)
  2. B%(100分の1)だけ
  3. Ckg
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正解：A. ppb(10億分の1)やppt(1兆分の1)

半導体用の材料では、金属不純物などを極めて低い濃度に抑える必要があるため、ppb(10⁻⁹)やppt(10⁻¹²)といった単位で管理されます。%単位で管理されるような純度では、デバイスの特性に大きな影響が出てしまいます。

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