プロセス材料(ガス・薬液) CMPの研磨パッドに一般的に使われる材料はどれか。 Aタングステン B発泡ポリウレタン C石英ガラス 答えと解説を見る 正解：B. 発泡ポリウレタン CMPのパッドには、細かい気孔をもつ発泡ポリウレタンがよく使われます。気孔や表面の溝にスラリーを保持し、ウエハ全体に行き渡らせる役割があります。パッドの表面は使ううちに目詰まりするため、ダイヤモンドの工具で表面を整える(コンディショニング)必要があります。