針状に加工した試料の先端から原子を1個ずつ電界で蒸発させ、その位置と種類を検出して、ドーパントなどの3次元の原子の分布を調べる分析法はどれか。

正解：A. アトムプローブトモグラフィ

アトムプローブでは、FIBで針状に加工した試料に高い電圧とパルスをかけて、先端の原子を1個ずつイオンとして飛ばし、検出器に届いた位置と時間から元素の種類と元の位置を求めます。トランジスタの中のドーパントの3次元の分布などを、原子レベルで調べられます。

• A. 正しい。原子を1個ずつ飛ばして3次元の分布を調べます。
• B. 光学顕微鏡では原子の分布は見えません。
• C. 超音波顕微鏡はパッケージ内部のはく離などを調べる装置です。