パッケージや基板の配線に高速のパルスを送り、反射してくる波形から断線やショートの位置を求める方法はどれか。

正解：B. TDR(時間領域反射法)

TDRでは、配線に立ち上がりの速いパルスを入れ、インピーダンスが変わる場所で反射してくる信号の時間と形を測ります。反射が戻るまでの時間から距離が、波形から断線(開放)かショートかがわかるため、パッケージの不良の位置の特定に使われます。

• A. XPSは表面の元素と化学状態を調べる方法です。
• B. 正しい。反射波から不良の位置を求めます。
• C. AFMは表面の凹凸を測る方法です。