계측과 분석
전극을 만들지 않고 웨이퍼 표면에 코로나 방전으로 전하를 올리고, 표면 전위의 변화를 측정하여 산화막이나 계면의 전기적 특성을 평가하는 방법은?
- A4탐침법
- BX선 회절
- C코로나 대전을 이용한 비접촉 전기적 평가(COCOS 등)
정답과 해설 보기
정답: C. 코로나 대전을 이용한 비접촉 전기적 평가(COCOS 등)
코로나 방전으로 웨이퍼 표면에 정해진 양의 전하를 올리고 켈빈 프로브로 표면 전위를 비접촉으로 측정하면, MOS 구조를 만들지 않아도 산화막의 두께, 막 속 전하, 계면 준위, 누설 특성 등을 평가할 수 있습니다. 게이트 전극을 만드는 공정이 필요 없고 측정한 웨이퍼도 그대로 다음 공정으로 진행할 수 있어, 제조 라인에서의 감시에 사용됩니다. 4탐침법이나 X선 회절로는 이러한 전기적 특성을 알 수 없습니다.
- A. 4탐침법은 비저항을 측정하는 접촉식 방법입니다.
- B. X선 회절은 결정 구조를 조사하는 방법입니다.
- C. 올바릅니다. 코로나 대전과 표면 전위 측정으로 평가합니다.