光を使う欠陥検査で、異物が小さくなるほど検出が急に難しくなる理由として正しいものはどれか。

正解：A. 波長より十分小さい粒子の散乱光の強さは、粒径のおよそ6乗に比例して急激に弱くなるため

波長より十分小さな粒子による光の散乱(レイリー散乱)の強さは、粒径のおよそ6乗に比例します。粒径が半分になると散乱光は約1/64になり、表面からの背景の雑音に埋もれてしまいます。そのため、短い波長の光を使ったり、電子線の検査を組み合わせたりします。

• A. 正しい。散乱光は粒径の約6乗に比例して弱くなります。
• B. 小さい粒子も光を散乱しますが、その強さが急に弱くなります。
• C. 粒子が透明になるわけではありません。