계측과 분석
TEM에서 가늘게 모은 전자빔을 주사하면서 투과한 전자의 에너지 손실을 측정하여 원소나 화학 상태의 분포를 조사하는 기법은?
- A4탐침법
- B홀 측정
- CSTEM-EELS(전자 에너지 손실 분광)
정답과 해설 보기
정답: C. STEM-EELS(전자 에너지 손실 분광)
STEM(주사 투과 전자현미경)에서는 가는 전자빔을 시료 위에서 주사합니다. 투과한 전자가 에너지를 얼마나 잃었는지를 측정하는 EELS를 조합하면, 원자 수준에 가까운 공간 분해능으로 원소의 종류나 화학 결합 상태의 분포를 조사할 수 있습니다. 가벼운 원소의 검출에 강하며, 극박 게이트 절연막이나 계면의 평가 등에 사용됩니다. 홀 측정은 캐리어의 종류와 이동도를 조사하는 방법입니다.
- A. 4탐침법은 비저항을 측정하는 방법입니다.
- B. 홀 측정은 캐리어의 종류, 농도, 이동도를 조사하는 방법입니다.
- C. 올바릅니다. 투과 전자의 에너지 손실로 원소나 상태를 조사합니다.