계측과 분석
가는 탐침으로 시료 표면을 훑으며 탐침의 상하 움직임으로부터 단차의 높이나 표면 형상을 측정하는 장비는?
- A질량 분석계
- B촉침식 단차계(프로파일러)
- C엘립소미터
정답과 해설 보기
정답: B. 촉침식 단차계(프로파일러)
촉침식 단차계는 끝이 가는 탐침으로 표면을 일정하고 약한 힘으로 훑으며, 탐침의 상하 변위로부터 단차의 높이나 표면의 굴곡을 측정합니다. 에칭 깊이, 막의 단차, CMP 후 넓은 범위의 평탄성 확인 등에 사용됩니다. AFM보다 분해능은 거칠지만 밀리미터 단위의 긴 거리를 주사할 수 있는 것이 특징입니다. 질량 분석계는 성분을, 엘립소미터는 막 두께를 측정하는 장비입니다.
- A. 질량 분석계는 이온의 질량으로 성분을 조사하는 장비입니다.
- B. 올바릅니다. 탐침으로 표면을 훑어 단차를 측정합니다.
- C. 엘립소미터는 빛의 편광 변화로 막 두께를 측정하는 장비입니다.